其潔凈度的控制應與使用空間的潔凈度等級保持一致或更高!另外，高純（PH2），高純氧氣（PO2）及部分。
用氣點高純氣體品質的保證不僅取決于制氣、純化設備及過濾器的精度，而且在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，如果依靠對氣體生產設備，純化設備及過濾器精度要求的無限拔高來彌補氣體管道系統設計不當或材料選用不當，是不正確的。
綜合以上因素考慮，7工程項目中氣體管道管材和閥門選擇如下：高純（PN2）系統管道管材選用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。（N2）系統管道管材選用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。
高純（PH2）系統管道管材選用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。高純氧氣（PO2）系統管道管材選用內壁電__拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。
（Ar）系統管道管材選用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。氦氣（He）系統管道管材選用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。
潔凈干燥壓縮空氣（CDA）系統管道管材選用內壁拋光的OCr18Ni9不銹鋼管（304），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。呼吸壓縮空氣（BA）系統管道管材選用內壁拋光的OCr18Ni9不銹鋼管（304），閥門選用相同材質的不銹鋼球閥。
工藝真空（PV）系統管道管材選用UPVC管，閥門選用相同材質的真空蝶閥。清掃真空（HV）系統管道管材選用UPVC管，閥門選用相同材質的真空蝶閥。特氣系統管道管材均選用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L），閥門選用相同材質的不銹鋼波紋管閥。
3管道的施工安裝3.1潔凈廠房設計規范8.3節對管道的連接作如下規定（1）管道連接應采用焊接，但熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應符合本規范第8.3.3條的要求（2）
不銹鋼光亮管應采用氬弧焊，以對接焊或承插焊連接，但高純氣體管道宜采用內壁痕的對接焊（3）管道與設備的連接應符合設備的連接要求。
3.2根據規范和有關措施的要求，高純氣體管路的連接應盡量采用焊接，焊接時應防止直接對焊，應采用管套或成品接頭，管套應選用與管材同等材料和內面光滑度等級，在焊接時，為了防止焊接部位氧化，應向施焊管內通入。
當采用軟管連接時宜采用金屬軟管（4）管道與閥門的連接，應符合下列的規定①高純氣體管道與閥門連接的密封材料，按生產工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。②螺紋或法蘭連接處的密封材料應采用聚四氟。法蘭連接時也應采取類似的措施。
不銹鋼光亮管在安裝工作開始之前，必須對管材，管件，閥門等，詳實地進行外觀檢查。普通不銹鋼光亮管安裝前應當進行內壁酸洗。氧氣管道的管材，管件，閥門等，應當嚴格禁油，并在安裝前按有關要求進行嚴格脫脂。在系統安裝完畢投入使用前，應當用所輸送的高純氣體對輸配管路系統進行地吹除。